Anwendungen / Referenzen

H.E.T.-ANKE Filtertechnik GmbH
Dieselstraße 1
D-63674 Altenstadt

Geschäftsführer:
Uwe Hahmann, Erling Boller

T   +49 6047 9644 0
F   +49 6047 9644 44
E   info@het-filter.de

Halbleiterindustrie

     

Anlagentyp:                     A 1E-1 HSC
Volumenstrom:              1.200 m³/h
Staubart:                          Arsen
Filterfläche Stufe 1:       20 m²
Filterklasse Stufe 1:      H13
Filterfläche Stufe 2:       20 m²
Filterklasse Stufe 2:      H13
Reingaswert:                  0,001 mg/m³
Staubaustrag:                 Safe Change

Besonderheit :               Erfolgreich abgeschlossene
                                          Containmentmessungen

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